シミズ タツヤ   SHIMIZU Tatsuya
  清水 達也
   所属   研究施設 研究施設
   職種   教授
言語種別 英語
発表タイトル Fundamental Study of the Microfabrication Method of Thin-film Material for Bio-MEMS
会議名 24th International Symposium on Artificial Life and Robotics (AROB 24th 2019)
学会区分 国際学会及び海外の学会
発表形式 口頭
講演区分 一般
発表者・共同発表者◎Ohya Takashi, Kikuchi Tetsutaro, Sasaki Daisuke, Shimizu Tatsuya, Matsuura Katsuhisa, Fukuda Kenjiro, Someya Takao, Umezu Shinjiro
発表年月日 2019/01/23
開催地
(都市, 国名)
Beppu, Japan