ヤマト マサユキ   YAMATO Masayuki
  大和 雅之
   所属   研究施設 研究施設
   職種   教授
論文種別 原著
言語種別 英語
査読の有無 査読なし
表題 Development of microfabrication technology with maskless photolithography device using LCD projector
掲載誌名 正式名:Journal of Robotics and Mechatronics
ISSNコード:0915-3942/1883-8049
巻・号・頁 22(5),608-612頁
著者・共著者 Itoga Kazuyoshi†, Kobayashi Jun, Yamato Masayuki, Okano Teruo*
発行年月 2010/10
DOI 10.20965/jrm.2010.p0608