ヤマト　マサユキ   YAMATO Masayuki   大和　雅之    所属   研究施設 研究施設    職種   教授
論文種別	原著
言語種別	英語
査読の有無	査読なし
表題	Development of microfabrication technology with maskless photolithography device using LCD projector
掲載誌名	正式名：Journal of Robotics and Mechatronics ISSNコード：0915-3942/1883-8049
巻・号・頁	22(5),pp.608-612
著者・共著者	Itoga Kazuyoshi†, Kobayashi Jun, Yamato Masayuki, Okano Teruo*
発行年月	2010/10
DOI	10.20965/jrm.2010.p0608